晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999%。

晶圓同太陽能電池片類似，都包含硅，為防止其放置在空氣中被氧化，需要使用配合氮氣柜使用，確保其品質。晶圓CASSETTE可直接放置在氮氣柜的隔板上，設定好氮氣柜的濕度值或氧含量值，關閉氮氣柜柜門，打開氣源即可全自動工作。配合內(nèi)置的進口耐用的電磁閥，搭配濕度或氧含量傳感器采集的數(shù)據(jù)，自動判斷氮氣何時供應和切斷，實現(xiàn)節(jié)約氮氣消耗的目的。為提供產(chǎn)品的潔凈度，推薦使用SUS304雙鏡面材質的不銹鋼制作氮氣柜的柜體。

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